Ellipsometri

Frå Wikipedia – det frie oppslagsverket
Hopp til navigering Hopp til søk

Ellipsometri er ein optisk metode til måling av særs tynne sjikt på materialoverflater. Polarisert ljos blir sendt mot ei overflate slik at polarisasjonen av utgangslyset (refleksjonen) er avhengig av eigenskapar på overflata til materialen. Målemetoden kan vise belegg ned til éit atomlag. Ellipsometri er mykje i bruk innan teknologi og forsking, og blir mellom anna brukt til å måle belegg på halvleiarar. Viktige bidrag til utviklinga av teknikken vart gjeve av NTH-professorane Leif Tronstad (1903–45) og Arthur Baker Winterbottom (1904–78), og dessutan professor Ola Hunderi ved same stad (frå 1996 NTNU).

Kjelder[endre | endre wikiteksten]